在無定形碳支撐膜1上配置了WO3粒子等的鎢氧化物粒子2，在高真空氣氛下用強度在1023－1024e／cm2·sec范圍的電子束3輻照此鎢氧化物粒子2。由于有這樣強度的電子束3的輻照，生成了粒徑在例如10nm以下的鎢超微粒子4。鎢超微粒子4是由從鎢氧化物粒子2脫離出來的鎢所構(gòu)成。
金屬碳化物粉末系列產(chǎn)品：碳化鋯粉末、碳化鉿粉末、碳化鉭粉末、碳化鈮粉末、碳化鈦粉末、碳化釩粉末、碳化鉻粉末、碳化鉬粉末、碳氮化鈦粉末，復式碳化物粉末產(chǎn)品：鈦鉭、鎢鈦、鎢鈦鉭、鎢鈦鉭鉻、鎢鈦鉭鈮等。
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